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欧倍尔德国Plasma technology真空等离子为北京大学开拓科研新思路发表于2017-04-11 11:00 来源: 欧倍尔 所属分类:客户案例

导语:德国Plasma technology真空等离子设备可以用于精细清洁、表面活化、表面刻蚀、表面涂层,处理的均匀性和可重复性好,受到各大高校科研院所的欢迎。

北京大学某学院研究人员需要在材料表面进行刻蚀,在表面生成特殊的微孔结构。但是在用湿法进行表面刻蚀处理样品时,发现产生的微孔结构尺寸过大,难以进行后续的研究。研究人员经过查阅文献,了解现在半导体芯片行业广泛采用真空等离子技术进行表面刻蚀,得到的图案尺寸能到微米甚至纳米级。

研究人员与北京欧倍尔科学仪器有限公司联系后,工程师充分了解客户的样品和需要的处理效果,向客户介绍了Plasma technology真空等离子设备表面刻蚀功能,可以在在纳米级尺度的孔洞。为了确保设备的能满足客户需求,北京欧倍尔请客户寄来样品用样机进行表面刻蚀的处理,得到了一定的实验结果后,才为客户推荐了Plasma technology真空等离子实验室系列的产品。

文章插图 Plasma technology 真空等离子设备

客户根据样品尺寸和小批量实验需求,最后选用了Plasma technology公司腔体容积为2L的真空等离子设备miniflecto,除了对样品进行刻蚀外,还可以用于样品精细清洁、活化等常规应用,满足了多项科研需求。

Plasma technology真空等离子设备为德国原装进口,产品型号覆盖2L至150L以及定制的数万升超大腔体容积,可满足实验室、生产各种样品工件、处理规模的需求。设备性能稳定,处理均匀性极佳,无耗材,无污染,运行成本低。

如果您对Plasma technology真空等离子感兴趣或者想了解更多详细信息,欢迎点击我们的在线客服进行咨询,或者直接拨打全国统一服务热线400-6860-188,我们期待您的来电!

责任编辑:欧倍尔

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