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FT-MTA03

FT-MTA03集纳米压痕仪、微拉力仪、轮廓仪和通用微观结构分析仪的功能于一体,其测力范围为±200mN,力学分辨率可达0.5nN(9个数量级),可在三轴方向测量0.1nm至29mm的位移(8个数量级)。FT-MTA03配置高分辨率显微镜,具有95mm的极高工作距离,可在样品上方180°旋转。配备3百万像素CMOS USB相机,可选择同轴透镜照明、环形光和漫射背光三种可调LED照明原理。

主要应用application

  • 01复杂微纳米材料的原位机械力学性能测试和结构观察,例如三维激光打印的微结构超材料;
  • 02微纳米多自由度操作和精密组装,如微纳部件的拼接及制造;
  • 03微纳米机器人及微纳传感器的力/电学分析,如微纳压电传感器的性能分析。

主要应用

技术优势

  • 01五轴(X,Y,Z,旋转,倾斜)闭环控制保证样品和微力传感探针的精确对准
  • 02能够实现力学和电学性能同步测试
  • 03紧凑的外形设计适用于各种全尺寸的SEM/FIB样品室
  • 04可配备不同的力学传感器,力学测量范围从0.5nN到200mN,
  • 05可在SEM中实现最佳工作距离观测(< 5mm
  • 06大量程的位移检测范围(0.05nm到21mm)
  • 07大量程的位移移动范围(21mm x 12mm x 12mm)
  • 08可以和其他SEM分析检测器一起使用,例如EBSD 和STEM检测器
  • 09独有的微钳技术可实现微纳米操作组装和微纳米机械测试于一体。

这些功能和技术优势对后续测试应用有关键性影响,而且决定着未来多种特种微纳应用实现的可能。

应用领域application field

微柱/纳米压缩试验
为了开发和优化新的高性能材料,原位SEM微柱压缩是一种有价值的工具,因为它可以在负载应用过程中实现立柱的可视化。
纳米纤维拉伸试验
FT-NMT03设计用于微纤维和纳米纤维的拉伸试验。典型的原位SEM测量包括蠕变测试,循环测试和刚度测试此外,复合材料中的纤维的粘附力经常被表征。
胶囊,颗粒或悬臂的测试
对于新材料的系统开发和物理过程的理解,进行了诸如局部,微胶囊或悬臂梁等样品的SITU SEM压缩试验。纳米机械测试可以与特殊的SEM检测器组合和同步,例如。 EBSD。
机电MEMS / NEMS测试
经常测试的MEMS / NEMS的机械参数包括刚度杨氏模量,线性,粘附力,滞后,挠度,致动器力,屈服强度,蠕变和地形。
微处理和微组装
微量处理可在扫描电镜中频繁地用于样品制备。

应用实例example

悬空金刚石膜的力学性能三维扫描

用于可调谐微光学纳米晶体金刚石和氮化铝膜的外形和刚度测试。右上图为微型膜的形貌,而右下图为其刚度分布。左下图是穿过膜的中心部分的刚度图的横截面。

树根毛微毛发尺度测试

植物细胞的机械性质的定量知识对于精确理解植物生长是至关重要的。在本应用中,进行了单根根毛的拉伸试验和断裂试验。为此,FT-S微力传感探头的钨尖端粘接到根毛的末端,拉伸试验在拉伸根毛的同时记录施加的力和变形,从图中可以观察到,在初始加载后,根毛开始断裂,力下降。但不会完全失效,而是仅部分地断裂并开始形成螺旋形状。随着力增加,根毛继续形成更多的裂缝,同时完全转变成螺旋形。

微加工的成品率测试

在微制造过程开发期间,大量工艺参数影响MEMS结构的机械性质。在本应用中,使用FT-MTA03测试MEMS挠曲件阵列的平面内刚度和平面外刚度。通过定义目标刚度的上限和下限,创建芯片映射以识别工作弯曲(绿色)和在期望规格之外的弯曲(红色)。晶片上未释放成功的弯曲(非常高的刚度)或具有裂纹的弯曲(低刚度)也可以区分出来。产率可以通过绿色与器件总数的比值计算得到。

MEMS反射镜的偏转幅度和刚度测试

本应用是为大旋转角设计的微镜的机械测试。反射镜板由弹性扭转梁悬挂,允许板旋转。FT-MTA03用于在板上的不同位置进行压缩试验。从测量的力-偏转数据中,可以获取镜板的最大偏转范围和扭转刚度。

电响应聚合物致动性能测试

共轭或导电聚合物在用做新型微制造设备智能材料上得到越来越多的关注例如制动器和传感器。梁形电活性聚合物(EAP)驱动器的挠度范围、驱动力和时间响应均可进行测量。梁形微驱动器夹在两个电极之间,启用驱动信号来运行微驱动。上图表明的是 EAP 驱动梁顶端最大挠度与驱动电压关系图,下图展示的是 EAP 驱动产生的驱动力,以及方波驱动信号与时间关系图。

纳米压痕测试

对小体积材料局部进行测试,FT-MTA03提供位置控制和力控制纳米压痕。可倾斜显微镜能够在负载施加期间实时观察样品。

微结构的三维组装Three-dimensional assembly

标准的微制造过程仅限于二维结构和特定材料的相互结合,不支持复杂三维结构的制造。为了发展真正的三维混合微机电系统,微装配是至关重要的。对于生物医学应用,使用 FT-G 微镊将软磁电镀镍片安装到三维结构中。随后,安装的零件与硅基微传感器结合。

我们的服务Our service

性能可靠,免费测试

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免费检测效果,解决清洗、活化、刻蚀、改性、涂层等问题;

技术支持,无需担忧

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德国技术支持,现场专业维护;

24小时,售后服务

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24小时内响应,提出解决方案,48小时内提供备用机;

经久耐用

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无易损、易耗件,让您体验真正的德国品质;

个性化定制

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可根据用户具体需求定制独一无二的等离子设备。

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